一、抗靜電紡織品介紹
    電子及半導(dǎo)體制造業(yè)者對(duì)靜電釋放與微粒污染損害所需付出的費(fèi)用相當(dāng)驚人，從統(tǒng)計(jì)資料中知悉，全球每年因靜電釋放(Electrostatic Discharge, ESD)所釀成之損壞成本負(fù)擔(dān)估計(jì)高達(dá)9億美元，有些專家認(rèn)為實(shí)際上的損失還會(huì)更高。因此對(duì)于環(huán)境控制室(無(wú)塵室)的要求與品質(zhì)與日俱僧。
    由于無(wú)塵室內(nèi)的空氣通常須保持在相對(duì)濕度45%的干燥狀態(tài)，因此容易產(chǎn)生靜電；靜電在半導(dǎo)體制程上誘發(fā)不良的作用主要有兩大類，一為引發(fā)微粒污染，在各種無(wú)塵室的微粒污染源中占第五位，約5%，另一為靜電釋放(ESD)，其所引發(fā)的失效率，在產(chǎn)品早期各種失效發(fā)生源中占首位，超過(guò)50%；為了克服靜電釋放的問(wèn)題，許多制造商已著手研究各種靜電控制計(jì)畫，內(nèi)容包括制程機(jī)儀及人體所產(chǎn)生的靜電危害。
    無(wú)塵室用靜電釋放防護(hù)衣著必須具有：(1)靜電/靜電逸散、(2)微塵粒子產(chǎn)生機(jī)會(huì)低(低發(fā)塵量)、(3)織造強(qiáng)度夠、(4)耐用性好、(5)抗特定化學(xué)藥劑及(6)穿著性舒適等特性。
    目前抗靜電無(wú)塵衣大都由人造長(zhǎng)纖維織造。這些織物可以是針織、梭織或紡黏合方式織造。聚酯長(zhǎng)纖是目前無(wú)塵室織物最主要之原料。為了使織物賦予持久性抗靜電/靜電逸散的效果，一般是于織造過(guò)程中嵌入(大概占織物重之0.1-0.5%)導(dǎo)電紗。這些導(dǎo)電紗通常在成品布上顯現(xiàn)條或格子狀樣式(3-10mm，視最終用途而定)。
    目前市面上有很多種抗靜電纖維可供選擇，這些纖維的織造通常是在纖維制造過(guò)程中加入些許導(dǎo)電物質(zhì)，分別由以下兩種生產(chǎn)方式而得：
    1.有機(jī)高分子纖維(主要是聚醯胺或聚酯)
    (a)　熔融紡絲時(shí)加入導(dǎo)電物質(zhì)添加物 (例如碳黑)。
    (b)　熔融紡絲后以導(dǎo)電物質(zhì)當(dāng)作纖維后處理。
    2.無(wú)機(jī)纖維(例如不銹鋼纖維)：導(dǎo)電性纖維需經(jīng)過(guò)紡紗后再織成布，纖維導(dǎo)電性之優(yōu)劣必須視導(dǎo)電物質(zhì)之種類、添加量和位置來(lái)加以調(diào)整，碳纖維是最常用之導(dǎo)電材料，硫化銅、碘化銅和其它氧化金屬也常使用。導(dǎo)電物質(zhì)可以使用類似涂布加工的方式覆蓋于纖維外層，或使用復(fù)合紡絲使纖維內(nèi)部含導(dǎo)電材料，亦或一部份分布在表面一部份在纖維內(nèi)部形成兩種介質(zhì)，導(dǎo)電材料通常添加量在3%～30%之間。
    二、國(guó)外抗靜電劑開(kāi)發(fā)
    無(wú)塵室紡織品采用高密度織法的聚酯長(zhǎng)纖紡織品來(lái)作為微粒控制頗為普遍，其較混紡的聚酯棉與其它使用在非無(wú)塵室ESD應(yīng)用的紡織品更不能釋放靜電，由于棉花具有吸收水氣的能力，它較聚酯更能釋放靜電，但它卻會(huì)產(chǎn)生棉絨。除此之外，做為無(wú)塵室使用的紡織品必需兼具耐久、非污染的導(dǎo)電性紗線來(lái)達(dá)到抗靜電。
    隨著高速紡絲和變形加工設(shè)備的推廣應(yīng)用，紗線表面較易積聚摩擦產(chǎn)生靜電荷，因此必須在紡絲油劑中加入抗靜電劑。
    目前國(guó)外市場(chǎng)新推出的抗靜電劑有：Crostat PTA，這是一種用于合纖地毯紗的臨時(shí)性抗靜電劑，它不影響地毯紗的色牢度；TC-Anfistatikum Uk flussig是一種合纖專用抗靜電劑，它可使織物手感較柔和；Laustat cT是一種用于浸泡和浸軋的高效抗靜電劑；Yamsoft-GS是一種假陽(yáng)離子柔軟潤(rùn)滑劑，有抗靜電性，專用于棉紗，但也可改善合纖或混紡紗的柔軟性和抗靜電性；Achitoil OL Conc是一種非離子型抗靜電劑，用于纖維素纖維及其混紡紗，有高潤(rùn)滑功能，而且降低纖維問(wèn)摩擦力。
    日本東京Kanebo Ltd.生產(chǎn)Belltron碳纖維系目前最廣泛使用在無(wú)塵室紡織品上面的導(dǎo)電性紗線，它擁有每平方公分107至1011歐姆的平均表面電阻系數(shù)。典型的特定ESD紡織品，使用有更多導(dǎo)電性但有時(shí)卻會(huì)污染的ESD紗線，具有105至107歐姆的表面電阻系數(shù)?！?
    Precision Fabrics Group Inc. (Greensboro，NC)供應(yīng)一系列抗靜電布料，包括供給ISO Class 3應(yīng)用的Integrity 2000紡織品、供I